D07-9E氣體質(zhì)量流量控制器 氬氣流量計(jì)用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
| 產(chǎn)品型號(hào) | D07-9E |
| 產(chǎn)品類型 | 普通型 |
| 流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±2％F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數(shù) | - 無 - |
| 零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm） |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10 |
| 表面化學(xué)成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 2.6Kg |
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